Produit hybride qui associe puce de silicium et nanoéléments mécaniques, le Mems est essentiellement un capteur de mouvement. Les premières recherches sur les Mems datent des années 1970. La première commercialisation intervient vingt ans plus tard dans l'automobile (capteur de chocs).La diffusion dans l'électronique grand public est liée aux progrès réalisés dans la gravure des circuits intégrés. La popularité des applications pour la téléphonie mobile et les consoles de jeux a accéléré le phénomène. L'étape actuelle de développement consiste à associer les Mems aux sciences de la vie.